5-As Gefreesde Keramiek Isolators vir Halfgeleiertoerusting en Skoonkamers

In die hoërisiko-wêreld van halfgeleiervervaardiging en skoonkameromgewings moet elke komponent foutlose werkverrigting lewer.PFT, ons spesialiseer in handwerk5-as gefreesde keramiek isolatorswat presisie en betroubaarheid herdefinieer. Met meer as 20+Met jare se kundigheid is ons oplossings ontwerp om aan die streng eise van halfgeleiertoerusting te voldoen, wat termiese stabiliteit, elektriese isolasie en kontaminasievrye werking in ultra-sensitiewe omgewings verseker.

Waarom ons 5-as gefreesde keramiek-isolators kies?

1.Gevorderde vervaardigingsvermoëns

Ons fasiliteit is toegerus metmoderne 5-as CNC-freesmasjiene, wat mikronvlak-akkuraatheid moontlik maak in die vorming van gevorderde keramiek soos alumina (Al₂O₃), silikonkarbied (SiC) en aluminiumnitried (AlN). Anders as konvensionele metodes, maak 5-as-bewerking komplekse geometrieë moontlik – krities vir komponente soos wafer-hefpenne, afsettingskameronderdele en plasmabestande isolators.

Belangrike kenmerke:

•Presisie:±0.005mm toleransie vir naatlose integrasie in ASML litografie-gereedskap of Lam Research etsstelsels.
•Materiaal Veelsydigheid:Geoptimaliseer vir 99.8% alumina, hoë-suiwerheid SiC, en ander gevorderde keramiek.
•Oppervlakafwerking:Ra <0.2μm om partikelgenerering in ISO Klas 1 skoonkamers te verminder.

2.Eiendomsprosesingenieurswese

Ons ingenieurs het ontwikkelgeslote-lus prosesbeheerwat aanpas by die brosheid van keramiek tydens bewerking. Deur droë freestegnieke te kombineer met intydse vibrasiedemping, bereik ons ​​kraakvrye oppervlaktes en verlengde komponentlewensduur—selfs onder uiterste termiese siklusse (tot 1 600 °C).

Innovasie-kollig:

•Stresverligtingsprotokolle:Minimaliseer mikrofrakture in AlN-isolators vir CVD-toepassings.
•Na-bewerking behandelings:HIP (Warm Isostatiese Persing) verbeter digtheid en korrosiebestandheid.

3.Streng Gehalteversekering

Elke isolator ondergaan12-fase inspeksie, insluitend:

•CMM (Koördinaatmeetmasjien)validering van kritieke dimensies.
•Helium-lektoetsingvir vakuumkompatibiliteit.
•EDS (Energie-Dispersie X-straal Spektroskopie)om die suiwerheid van die materiaal te verifieer.

OnsISO 9001/14001-gesertifiseerde stelselverseker naspeurbaarheid vanaf die verkryging van grondstowwe (verkryg van Tier 1-verskaffers soos CoorsTek) tot die finale verpakking.

Toepassings: Waar presisie en prestasie ontmoet

Ons isolators word vertrou in:

•Ets- en afsettingsgereedskap:SiC-bedekte komponente vir plasmaweerstand in Applied Materials™-modules.
•Iooninplanteerders:Alumina-hyspenne met antistatiese bedekkings om wafergly te voorkom.
•Metrologiestelsels:Lae-termiese-uitsetting isolators vir EUV litografie stadiums.

Gevallestudie:'n Toonaangewende halfgeleier-OEM het gereedskap se stilstandtyd met 40% verminder nadat hulle oorgeskakel het na ons pasgemaakte SiC-stortkoppe, wat mededingers se onderdele in 300 mm-waferverwerking oortref het.

Verder as Vervaardiging: 'n Vennootskapsbenadering

•Vinnige Prototipering:Dien jou CAD-lêers in en ontvang funksionele prototipes binne 7 dae.
•Verpakking vir skoonkamers op die perseel:Opsionele Klas 10 skoonkamer-montering vir direkte gereedskapintegrasie.
•Lewenslange tegniese ondersteuning:Ons ingenieurs bied slytasie-analise en herbewerkingsdienste om komponentlewensiklusse te verleng.